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白光迈克尔逊干涉仪

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白光迈克尔逊干涉仪
时间:2019-12-04 12:01来源:讯技光电作者: 技术部点击:打印
1. 摘要

白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
  

 
2. 建模任务

  
3. 干涉条纹的变化

 
4. 走进VirtualLab Fusion

  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程

  • 输入场设置
  • 定义元件的位置和方向
  • 正确设置非序列追迹通道
  • 使用“参数运行”检查影响/变化
 
6. VirtualLab Fusion 技术

7. 文件信息

 
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